跟蹤信號源實際上是一個輸出幅度恒定、與頻譜儀掃描接收頻率同步的掃頻信號發生器，頻譜儀是接收機，通過一發一收，測量設定頻率范圍內連續頻率點上信號幅度的變化情況，借以了解兩端口網絡的傳輸頻響，功能類似掃頻儀和標量網絡分析儀。如果與駐波電橋配合，則可以得到單端口器件，如天線、負載器的反射頻響曲線，用來測量器件的傳輸匹配阻抗情況。
頻譜儀是否裝備了跟蹤信號源，從儀器外觀上很好辨認。大部分內置跟蹤信號源的頻譜儀都會在面板上多出一個高頻信號輸出口，標有“GEN OUTPUT”或“RFOUT”字樣，要注意與一些頻譜儀提供的自校信號端口區別，自校信號端口上通常直接標上固定翰出頻率和輸出信號幅度。一般頻譜儀的跟蹤信號源都是選件，儀器面板上會留有跟蹤源輸出端口的位置，未安裝跟蹤源組件則會用個小蓋子封上。
使用頻譜儀跟蹤源功能的具體操作是準備兩條測試電纜和一個能將兩條電纜連在一起的連接器，測試電纜用于分別連接頻譜儀的跟蹤源輸出端和信號輸入端，測試電纜的另兩端分別可與被測器件輸入、輸出端口相連。
進入跟蹤源工作模式，設置跟蹤源參數。進入跟蹤源，設置菜單。首先設噩跟蹤源輸出頻率范圍，這與頻譜儀掃描頻率區間設定一樣，有“中心頻率+掃寬”和“起始頻率十終止頻率”兩神輸入方式。
校正測量系統，將兩條測試電纜通過連接器直接互連（相當于跳過被測器件直接短接），執行自校準程序，這樣儀器就能修正由測試電纜和端口連接器引入的高頻插入損耗造成的誤差。通過校正操作，測試電纜就與頻譜儀融為一體，測試端口也由儀器面板端口延伸至測試電纜端口，在頻譜儀顯示屏上也出現一條水平的直線（測試電纜短接狀態下）。有的老式頻譜儀軟俘不支持此類校正操作，可跳過這一步驟。未經校正的跟蹤源信號參考線會出現彎曲（波動）和傾斜（上翹或下彎）的情況，影響測量的準確性。斷開相互短接的測試電纜，取下連接器。將測試電纜的兩端與被測器件的輸入、輸出端口連接，如接口類型不匹配，可使用轉換接頭。 連接完畢頻譜儀屏幕上顯示出被測器件的傳輸頻響曲線。對于帶通濾波器顯示出“凸”字圖形，對予小型雙工器一類的陷波器則顯示出“v”字形或“凹”字形圖形。圖形背景網格線表明信號落差的分貝數，一般默扶背景格垂直每格代表10dB。
